LPE液相外延爐采用進口穩(wěn)定可靠的智能儀表，能夠實現整個工藝過程的自動控溫。以進口直線電機為主體，系統定位且無抖動，加速度大能快速啟動，可快速精準的將生長材料移動至下一個生長點。

    本設備采用“黃金”爐體加熱，能夠快速升溫，恒溫，降溫。“黃金”爐體主體由石英管、電阻絲及剛玉組成，潔凈度高，適合于IC、電子器件的快速退火、液相外延等工藝。系統配有真空系統，極限真空度1Pa。本底真空時間視工藝管路。可配置H2、N2、O2等工藝氣體，帶有自動連鎖, 危險氣體檢測及尾氣燃燒裝置。