自動供酸系統(tǒng)供液系統(tǒng)內(nèi)可同時放置多個化學(xué)品桶，各個桶之間可自動切換。該系統(tǒng)具有排除氣泡和降低管道內(nèi)壓力波動的能力。該系統(tǒng)可實現(xiàn)清洗設(shè)備化學(xué)液的自動供液，減少人員接觸化學(xué)品的幾率，提高換液速率。自動供酸

自動供液系統(tǒng)供液系統(tǒng)內(nèi)可同時放置多個化學(xué)品桶，各個桶之間可自動切換。該系統(tǒng)具有排除氣泡和降低管道內(nèi)壓力波動的能力。該系統(tǒng)可實現(xiàn)清洗設(shè)備化學(xué)液的自動供液，減少人員接觸化學(xué)品的幾率，提高換液速率。自動供液

多晶硅硅料烘干設(shè)備該設(shè)備主要用于5-50mm不規(guī)則多晶硅塊狀小料的烘干。采用機(jī)械手自動抓取PP花籃，依次完成烘干、冷卻等工藝流程，硅塊烘干率達(dá)到100%，冷卻后的溫度≤35℃。多晶硅硅料烘干設(shè)備

全自動硅料烘干機(jī)該設(shè)備主要用于5-50mm不規(guī)則多晶硅塊狀小料的烘干。采用機(jī)械手自動抓取PP花籃，依次完成烘干、冷卻等工藝流程，硅塊烘干率達(dá)到100%，冷卻后的溫度≤35℃。全自動硅料烘干機(jī)

多晶硅硅料烘干機(jī)該設(shè)備主要用于5-50mm不規(guī)則多晶硅塊狀小料的烘干。采用機(jī)械手自動抓取PP花籃，依次完成烘干、冷卻等工藝流程，硅塊烘干率達(dá)到100%，冷卻后的溫度≤35℃。多晶硅硅料烘干機(jī)

多晶硅磁環(huán)清洗設(shè)備該設(shè)備主要用于多晶硅生產(chǎn)中的配套磁環(huán)的清洗。采用機(jī)械手自動抓取不銹鋼花籃，依次完成堿洗、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達(dá)到清洗后的硅塊表面清潔光滑、無氧化物、無硅渣、表面無水

全自動磁環(huán)清洗機(jī)該設(shè)備主要用于多晶硅生產(chǎn)中的配套磁環(huán)的清洗。采用機(jī)械手自動抓取不銹鋼花籃，依次完成堿洗、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達(dá)到清洗后的硅塊表面清潔光滑、無氧化物、無硅渣、表面無水珠

多晶硅磁環(huán)清洗機(jī)該設(shè)備主要用于多晶硅生產(chǎn)中的配套磁環(huán)的清洗。采用機(jī)械手自動抓取不銹鋼花籃，依次完成堿洗、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達(dá)到清洗后的硅塊表面清潔光滑、無氧化物、無硅渣、表面無水珠

多晶硅硅芯清洗設(shè)備該設(shè)備主要用于硅芯、母料、區(qū)熔料、橫梁等棒狀料的清洗。采用龍門機(jī)械手自動抓取PVDF料籠，依次完成腐蝕、沖洗、超聲漂洗、烘干等工藝流程，實現(xiàn)清洗后的硅料表面清潔光滑的清洗要求以及表面

全自動硅芯清洗機(jī)該設(shè)備主要用于硅芯、母料、區(qū)熔料、橫梁等棒狀料的清洗。采用龍門機(jī)械手自動抓取PVDF料籠，依次完成腐蝕、沖洗、超聲漂洗、烘干等工藝流程，實現(xiàn)清洗后的硅料表面清潔光滑的清洗要求以及表面干

多晶硅硅芯清洗機(jī)該設(shè)備主要用于硅芯、母料、區(qū)熔料、橫梁等棒狀料的清洗。采用龍門機(jī)械手自動抓取PVDF料籠，依次完成腐蝕、沖洗、超聲漂洗、烘干等工藝流程，實現(xiàn)清洗后的硅料表面清潔光滑的清洗要求以及表面干

全自動硅料清洗機(jī)該設(shè)備主要用于20-150mm不規(guī)則多晶硅塊狀料的清洗。采用機(jī)械手自動抓取PVDF花籃，依次完成腐蝕、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達(dá)到清洗后的硅塊表面清潔光滑、表面無水珠等工

多晶硅硅料清洗機(jī)該設(shè)備主要用于20-150mm不規(guī)則多晶硅塊狀料的清洗。采用機(jī)械手自動抓取PVDF花籃，依次完成腐蝕、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達(dá)到清洗后的硅塊表面清潔光滑、表面無水珠等工

全自動硅塊清洗機(jī)該設(shè)備主要用于20-150mm不規(guī)則多晶硅塊狀料的清洗。采用機(jī)械手自動抓取PVDF花籃，依次完成腐蝕、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達(dá)到清洗后的硅塊表面清潔光滑、表面無水珠等工

多晶硅硅塊清洗機(jī)該設(shè)備主要用于20-150mm不規(guī)則多晶硅塊狀料的清洗。采用機(jī)械手自動抓取PVDF花籃，依次完成腐蝕、清洗、超聲漂洗、切水、烘干等工藝流程，達(dá)到清洗后的硅塊表面清潔光滑、表面無水珠等工

劃切外協(xié)加工封裝示范線旨在通過示范線平臺進(jìn)行工藝研發(fā)、設(shè)備驗證、亦可承接外協(xié)生產(chǎn)訂單，通過協(xié)同效應(yīng)提供具有高附加值的產(chǎn)品及服務(wù)。目前可承接減薄、劃切、分選、倒裝環(huán)節(jié)外協(xié)代工業(yè)務(wù)，目前劃片業(yè)務(wù)滿產(chǎn)，每月

高速芯片倒裝鍵合機(jī)倒裝設(shè)備是一種生產(chǎn)IC和LED的高速高精度芯片貼裝設(shè)備，廣泛適用于LED、扇出型WLP、嵌入式WLP、芯片堆疊、SiP、MCM，微處理器，硬盤驅(qū)動器以及RFID等領(lǐng)域，適應(yīng)Chip

高速精密分選排片機(jī)自動分選機(jī)用于將指 定表面質(zhì)量的管芯從藍(lán)膜拾取并放置到晶粒盒的自動化設(shè)備。可適用多種尺寸的管芯和多種規(guī)格的晶粒盒（Tray盤和JEDECK盤），并實現(xiàn)了藍(lán)膜到藍(lán)膜等多種工藝流程。配備

自動晶圓減薄機(jī)設(shè)備主要用于集成電路、分離器件、LED芯片等的背面減薄，也適用于硅、鍺、石英、砷化鎵、陶瓷等硬脆材料的精密減薄。可配備機(jī)械手自動傳輸、定位、雙流體清洗、承片臺清洗單元等部分。自動晶圓減薄

自動精密砂輪劃片機(jī)劃片機(jī)主要用于PCB、LED、二極管、芯片、太陽能電池、熱敏電阻、光學(xué)器件、GPP、QFN、BGA劃切加工。適用于硅、石英、氧化鋁、氧化鐵、鈮酸鋰、壓電陶瓷和玻璃等材料的加工。配有精

硅片清洗刻蝕設(shè)備中國電科45所<SFQ/SFQZ系列濕法設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路、光電子器件、MEMS及分立器件、半導(dǎo)體材料加工、太陽能光伏等領(lǐng)域，用于各種半導(dǎo)體基片及類似材料制造過程中濕化學(xué)處理

晶片刻蝕清洗機(jī)中國電科45所<在LED外延及芯片制造領(lǐng)域，濕法設(shè)備占據(jù)約40%的工藝，隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展，濕法設(shè)備已經(jīng)成為LED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備，如SPM酸清洗、有機(jī)清洗、顯影、

LED清洗機(jī)中國電科45所<在LED外延及芯片制造領(lǐng)域，濕法設(shè)備占據(jù)約40%的工藝，隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展，濕法設(shè)備已經(jīng)成為LED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備，如SPM酸清洗、有機(jī)清洗、顯影、去

LED芯片清洗機(jī)中國電科45所<在LED外延及芯片制造領(lǐng)域，濕法設(shè)備占據(jù)約40%的工藝，隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展，濕法設(shè)備已經(jīng)成為LED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備，如SPM酸清洗、有機(jī)清洗、顯影

SRD甩干機(jī)中國電科45所<CXS系列旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)主要用于硅圓片、光刻版等類似材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝，適用于2-12英寸晶圓，LXS系列旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)主要用于材料加工、太陽能電池片、分立

半導(dǎo)體材料切割設(shè)備中國電科45所<DXQ-2342多線切割機(jī)和DXQ-2331多線切割機(jī)主要適用于磁性材料、半導(dǎo)體、水晶、閃爍晶體、熱電半導(dǎo)體、陶瓷、鐵電晶體、硬脆金屬等材料的切片加工。具有占地

半導(dǎo)體硅片清洗機(jī)中國電科45所<SFQ/SFQZ系列濕法設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路、光電子器件、MEMS及分立器件、半導(dǎo)體材料加工、太陽能光伏等領(lǐng)域，用于各種半導(dǎo)體基片及類似材料制造過程中濕化學(xué)處理

半自動視覺印刷機(jī)中國電科45所<適用于LTCC基板、HTCC、厚膜電路、太陽能電池等領(lǐng)域的視覺對位印刷機(jī)。設(shè)備采用手動上下片，真空吸附基片，自動涂墨、印刷、脫網(wǎng)，設(shè)備采用基于工控機(jī)的控制系統(tǒng)，可

單片切割設(shè)備中國電科45所<用于藍(lán)寶石、碳化硅、鎢合金、鉬合金、水晶、閃爍晶體、半導(dǎo)體、陶瓷、鐵電晶體、磁性材料等硬脆材料的去頭、截斷、開方和小數(shù)量切片加工。具備擺動切割和旋轉(zhuǎn)調(diào)晶機(jī)構(gòu)。所切平面

多晶硅切割設(shè)備中國電科45所<主要適用于單晶硅、多晶硅以及同等硬度材料的切片加工。具有占地面積小、切料尺寸大、切割速度快、切片精度高、操作簡單方便、運行穩(wěn)定可靠及維護(hù)成本低等優(yōu)點。